[发明专利]绘图设备和块数确定方法

摘要

本发明提供绘图设备和块数确定方法。该绘图设备包括DMD，用于空间调制从光源发出的光并将调制后的光束分别引导至二维排列在衬底上的多个照射区域。在扫描多个照射区域的同时，通过控制DMD来绘图。多个照射区域构成在列方向上排列的多个照射块，在每个照射块中，照射区域在行方向上排列。在DMD中，绘制信号顺序地输入到分别与多个照射块对应的多个镜块里待使用的镜块中。当绘图时，运算部件考虑向DMD输入绘制信号所需的时间和照射到衬底上的光量，确定能使扫描速度最大化的待使用镜块数。

主权项

1.一种绘图设备，用于通过在光敏材料上照射光来绘图，该设备包括：光源部件；空间光调制器，用于空间调制从所述光源部件发出的光并将调制后的光束分别引导至多个照射区域，所述多个照射区域在光敏材料上相互垂直的行方向和列方向上排列并构成在所述列方向上排列的多个照射块，在每个照射块中照射区域至少排列成一行，绘制信号顺序地输入到所述空间光调制器上分别与所述多个照射块对应的多个调制块中至少一个调制块，同时执行对与所述至少一个调制块对应的至少一个照射块中包含的多个照射区域的光照开/关控制；扫描机构，用于沿预定扫描方向在光敏材料上扫描所述多个照射块，在所述光敏材料上沿所述扫描方向以预定的绘制节距固定地二维排列多个绘制区域，并且包含在每个照射块中的至少任一照射区域相对地经过每个所述绘制区域；绘制控制器，用于与所述多个照射块的扫描同步地向所述空间光调制器输入所述绘制信号；以及块数确定部件，用于确定绘图所用的调制块的数量，将其作为能使扫描速度最大化的运行块数。