[发明专利]研磨垫及其制造方法有效
| 申请号： | 200610082010.X | 申请日： | 2006-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN101073880A | 公开（公告）日： | 2007-11-21 |
| 发明（设计）人： | 张永忠;张胜裕;施文昌 | 申请（专利权）人： | 智胜科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;H01L21/304;B24D13/14;B24D17/00;B24D18/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 李勇 |
| 地址： | 中国台湾台中市*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种研磨垫及其制造方法，包含一研磨垫本体，以及位于研磨垫本体内部的至少一长条形辅助压缩体，长条形辅助压缩体的压缩性大于研磨垫本体的压缩性。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种研磨垫，包含：一研磨垫本体；以及至少一长条形辅助压缩体，位于研磨垫本体的内部，其中长条形辅助压缩体的压缩性大于研磨垫本体的压缩性。
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