[发明专利]围堰构造、布线图案形成方法、设备、电光学装置及电子机器无效

专利信息
申请号: 200610082408.3 申请日: 2006-05-16
公开(公告)号: CN1866519A 公开(公告)日: 2006-11-22
发明(设计)人: 守屋克之;平井利充 申请(专利权)人: 精工爱普生株式会社
主分类号: H01L27/00 分类号: H01L27/00;H01L23/522;H01L21/768;H01L21/288;H01L21/02;H05B33/12;H05B33/10
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 汪惠民
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供在具有宽度不同的区域的图案形成区域中配置功能液之时,消除了所形成的膜图案之间的膜厚差的围堰构造体、膜图案形成方法、设备、电光学装置及电子机器。本发明的围堰构造是将功能液所配置并流动的图案形成区域(P)利用围堰(34)划分的围堰构造(1)。图案形成区域(P)由第一图案形成区域(56)、与该第一图案形成区域(56)连续并且与该第一图案形成区域(56)相比宽度更大的第二图案形成区域(55)构成,在第二图案形成区域(55)中,设有至少一个分隔该第二图案形成区域(55)而限制功能液的流动方向的分隔围堰(34a),与由该分隔围堰(34a)限制的功能液的流动方向大致正交的方向的分隔宽度(H)被制成在第一图案形成区域(56)的宽度(H2)的±20%以内。
搜索关键词: 围堰 构造 布线 图案 形成 方法 设备 光学 装置 电子 机器
【主权项】:
1.一种围堰构造体,是利用围堰对配置功能液并流动的图案形成区域进行划分的围堰构造,其特征在于,所述图案形成区域由第一图案形成区域、与该第一图案形成区域连接并且宽度比该第一图案形成区域大的第二图案形成区域构成,在所述第二图案形成区域,设有至少一个分隔该第二图案形成区域而限制所述功能液的流动方向的分隔围堰,与由该分隔围堰限制的所述功能液的流动方向大致正交的方向的分隔宽度,在所述第一图案形成区域的宽度的±20%以内。
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