[发明专利]制作微型连接器的方法无效

专利信息
申请号: 200610082731.0 申请日: 2006-05-15
公开(公告)号: CN101075721A 公开(公告)日: 2007-11-21
发明(设计)人: 邱铭彦 申请(专利权)人: 探微科技股份有限公司
主分类号: H01R43/00 分类号: H01R43/00
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 代理人: 陶凤波;侯宇
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明公开了一种制作微型连接器的方法。提供晶片,在其第一表面形成一介电层。将介电层固定于承载晶片,并进行薄化工艺。将其第二表面固定于承载晶片,并在介电层上形成导线图案。在介电层与导线图案上形成绝缘层,去除部分绝缘层暴露出导线图案,并去除部分介电层与晶片,使晶片分割为多个微型连接器。所述方法有效避免晶片薄化所造成的污染问题。
搜索关键词: 制作 微型 连接器 方法
【主权项】:
1、一种制作微型连接器的方法,包括:提供晶片,所述晶片包括第一表面与一第二表面;在所述晶片的所述第一表面上形成介电层;利用第一黏着层接合所述介电层与承载晶片;进行薄化工艺,由所述晶片的所述第二表面薄化所述晶片;移除所述第一黏着层,并将利用第二黏着层接合所述晶片的所述第二表面与所述承载晶片;在所述介电层上形成导线图案;在所述介电层与所述导线图案上形成绝缘层;在所述绝缘层上形成屏蔽图案,所述屏蔽图案包括对应于所述导线图案的多个第一开口,以及定义出切割道图案的多个第二开口;去除所述第一开口暴露出的所述绝缘层,以暴露出所述导线图案,并去除所述第二开口所暴露出的所述绝缘层、所述介电层与所述晶片,使所述晶片分割为多个微型连接器;移除所述屏蔽图案;以及移除所述第二黏着层。
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