[发明专利]长工作距干涉显微镜系统有效
| 申请号： | 200610082957.0 | 申请日： | 2006-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN1862219A | 公开（公告）日： | 2006-11-15 |
| 发明（设计）人： | 段俐;康琦;胡良;阿燕;于泳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院力学研究所 |
| 主分类号： | G01B9/04 | 分类号： | G01B9/04;G02B21/00 |
| 代理公司： | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 尹振启 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种长工作距干涉显微镜系统，包括：起偏器、分束器、长工作距显微镜和由两个光轴互相垂直的双折射直角棱镜粘合而成的渥拉斯顿棱镜，光源经过所述起偏器形成线偏振光，并经所述分束器反射后再通过所述渥拉斯顿棱镜，将入射线偏振光分成两束具有微小夹角并且振动方向互相垂直的线偏振光，该两束光投射到被测量样品上，从被测量样品表面反射回的两束正交线偏振光经原路返回，由所述渥拉斯顿棱镜重新复合共线，并经过一四分之一波片形成椭圆偏振光，再经过一检偏器后形成偏振方向相同的线偏振光。本发明对机械振动、空气扰动、以及温度变化等外界环境不敏感，其垂直测量分辨率达到50个纳米量级，具有50mm以上的工作距离。 | ||
| 搜索关键词： | 工作 干涉显微镜 系统 | ||
【主权项】：
1、一种长工作距干涉显微镜系统，其特征在于，包括：起偏器、分束器、长工作距显微镜和由两个光轴互相垂直的双折射直角棱镜粘合而成的渥拉斯顿棱镜，光源经过所述起偏器形成线偏振光，并经所述分束器反射后再通过所述渥拉斯顿棱镜，将入射线偏振光分成两束具有微小夹角并且振动方向互相垂直的线偏振光，该两束光投射到被测量样品上，从被测量样品表面反射回的两束正交线偏振光经原路返回，由所述渥拉斯顿棱镜重新复合共线，并经过一四分之一波片形成椭圆偏振光，再经过一检偏器后形成偏振方向相同的线偏振光，发生干涉，通过长工作距显微镜和CCD相机接收图像信号，再传输给设置有图像处理软件的计算机进行图像处理。
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