[发明专利]半导体器件的制造方法无效
申请号: | 200610083342.X | 申请日: | 2006-06-02 |
公开(公告)号: | CN1873941A | 公开(公告)日: | 2006-12-06 |
发明(设计)人: | 八岛秀明 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;G01R31/26;G01R31/00 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人: | 丁业平;张天舒 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种半导体器件的制造方法,该方法包括通过晶片上测试在半导体晶片上检验半导体元件,存储该半导体器件的半导体晶片上的坐标位置数据和晶片上测试的结果,并且对通过切割半导体晶片而分割成的一个个小片状的半导体元件进行封装,在封装后执行最后测试。当将半导体元件装入封装时,产生了在半导体晶片上的坐标位置数据和封装上的标记的联合数据并将该联合数据进行存储。当执行最后测试时,通过对基于封装标记的联合数据进行参考,确定出封装中的半导体元件的晶片测试结果。在最后测试所执行的各测试项目中,其中可以使用晶片上测试的结果的那些测试项目被跳过执行。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.半导体器件的制造方法,包括:通过晶片上测试来对半导体晶片上的多个半导体元件中的每一个进行检验,以存储晶片上测试的结果和半导体晶片上的每一个半导体元件的坐标位置数据,所述晶片上测试的结果和坐标位置数据之间相互关联,将半导体晶片切割成为一个个小片状的半导体元件,将每一个小片状的半导体元件装配到一个封装中,其中产生了封装上的标记与每一个半导体元件的坐标位置的联合数据并将该联合数据进行了存储,以及对封装中的每一个半导体元件执行一最后测试,该最后测试包括:通过参考基于所述封装标记的联合数据来获得与封装中的每一个半导体元件相关的晶片上测试的结果;并且在最后测试所执行的各测试项目中,跳过执行其中可以使用晶片上测试的结果的那些测试项目。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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