[发明专利]具有良好平坦度的基板卡盘的曝光装置有效
| 申请号： | 200610083488.4 | 申请日： | 2006-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN1873541A | 公开（公告）日： | 2006-12-06 |
| 发明（设计）人： | 郑熙旭;车相焕 | 申请（专利权）人： | LG.菲利浦LCD株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;梁挥 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种曝光装置，包括：掩模平台；用于支撑该掩模平台的支撑体；位于掩模平台下部的基板；用于支撑该基板的基板卡盘；用于移动该基板卡盘的基板卡盘移动装置；安装在基板卡盘移动装置上用于控制基板和掩模平台之间间隙的间隙动力单元；以及用于恒定保持基板卡盘平坦度的基板卡盘平坦度保持装置。因此，即使对大基板也能够以恒定的平坦度执行曝光工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 良好 平坦 板卡 曝光 装置 | ||
【主权项】：
1、一种曝光装置，包括：掩模平台；用于支撑所述掩模平台的支撑体；位于所述掩模平台下部的基板；用于支撑所述基板的基板卡盘；用于移动所述基板卡盘的基板卡盘移动装置；安装在所述基板卡盘移动装置上用于控制所述基板和掩模平台之间间隙的间隙动力单元；以及用于恒定保持所述基板卡盘平坦度的基板卡盘平坦度保持装置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于LG.菲利浦LCD株式会社，未经LG.菲利浦LCD株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610083488.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：具有语音解码功能的移动通信终端及其动作方法
- 下一篇：光致抗蚀剂用剥离液
