[发明专利]双直线电机冗余同步驱动的T型工作台

摘要

本发明公开了一种双直线电机冗余同步驱动的T型工作台，由基座、X轴运动模块、Y轴运动模块、三个直线电机和四对导轨组成。X轴运动模块的X导轨固定在基座上，由两台直线电机驱动，其两台直线电机定子分别固定在基座上；Y轴运动模块的Y轴导轨固定在X轴运动模块的滑块上，由一台直线电机驱动，其直线电机定子固定在基座上。该工作台采用两台直线电机驱动X轴运动模块，一台直线电机同步驱动Y轴运动模块实现两坐标精确定位以及精密运动，加速度为1g～10g，速度为0.8m/s时，定位精度可以达到1μm，最大行程可以达到80mm×80mm。可以作为精密运动系统，可用于集成电路光刻机、精密测量扫描装置等。

主权项

1、一种双直线电机冗余同步驱动的T型工作台，其特征在于：由基座(3)、X轴运动模块(2)、Y轴运动模块(1)、三个直线电机和四对导轨组成，所述基座(3)为梯形状，凸台(309)设在下底边中部，凸台(309)上开设有滑槽(308)，滑槽(308)内安装有前导轨(307)、后导轨(302)，凸台(309)前侧安装有X轴读数头安装板(306)；Y轴电机定子(4)的安装座(305)固定在基座(3)的上底边上，X轴第一电机定子(5)的安装座(303)固定在基座(3)的下底边的右端，X轴第二电机定子(6)的安装座(304)固定在基座(3)的下底边的左端，Y轴电机定子(4)固定在安装座(305)上，X轴第一电机定子(5)固定在安装座(303)上，X轴第二电机定子(6)固定在安装座(304)上，Y轴电机动子(7)一端固定在安装台(103)上，Y轴电机动子(7)另一端悬空在Y轴电机定子(4)内；X轴第一电机动子(8)一端固定在安装台(202)上，X轴第一电机动子(8)另一端悬空在X轴电机定子(5)内；X轴第二电机动子(9)一端固定在安装台(203)上，X轴第二电机动子(9)另一端悬空在X轴电机定子(6)内；X轴运动模块(2)底部安装在基座(3)的凸台(309)上的滑槽(308)内，Y轴运动模块(1)底部安装在X轴运动模块(2)的滑槽(201)内；所述Y轴运动模块(1)为L形，高端设有用于安装Y轴电机动子(7)的安装台(103)，低端设有负载安装台(101)，左端部设有限位块(106)，前侧面上设有光栅尺安装板(104)，Y轴运动模块(1)底部固定有Y轴左导轨(105)、Y轴右导轨(102)，L形Y轴运动模块(1)上开有多个配重孔腔；所述X轴运动模块(2)为凹形，其左右两端设有安装台(203)和安装台(202)，安装台(203)的台面上固定有Y轴读数头安装板(205)，安装台(203)用于固定X轴第二电机动子(9)的一端；安装台(202)用于固定X轴第一电机动子(8)的一端；X轴运动模块(2)底部的左右方向上设有左限位块(211)、右限位块(210)，凹形滑槽(201)的左右内侧固定有左导轨(204)、右导轨(207)，X轴运动模块(2)底部固定有X轴前导轨(208)、X轴后导轨(209)；所述导轨为交叉滚子导轨，导轨体(12)上设有多个安装孔(14)，导轨体(12)两端设有第一挡钉(13)和第二挡钉(15)，滚珠(10)交叉安装在导轨体(12)的V形槽内，并用滚珠保持架(11)固定。