[发明专利]光学各向异性参数测定方法及测定装置有效
| 申请号： | 200610084031.5 | 申请日： | 2006-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN1847816A | 公开（公告）日： | 2006-10-18 |
| 发明（设计）人： | 田之冈大辅 | 申请（专利权）人： | 株式会社茉莉特斯 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00;G02F1/13 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的是提供可高速、高精度测定光学各向异性薄膜的光学轴的方向和大小、以及膜厚，并可进一步根据二维受光元件进行分布测定的方法和装置。其具体方式是以从测定点(M)向上的法线(Z)作为中心，从以预定角度间隔设定的多个入射方向，使P偏振光的单色光以预定入射角度照射，对应于入射方向检测出包含在其反射光中S偏振光的反射光强度，基于在反射光强度显示出极小值的入射方向中、被测定出了作为最大峰的两个极大值(∧1、∧(V1)的入射方向，确定测定点M中光学轴(OX)的方位角方向(Φ的极大值(∧1)和与其邻接的中间峰的极大值(∧3)夹着的极小值(V3)的入射方向，确定极角方向(θ)。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 各向异性 参数 测定 方法 装置 | ||
【主权项】：
1、一种光学各向异性参数测定方法，其测定作为薄膜试件各向异性参数的光学轴的方位角方向和极角方向，以从薄膜试件上的测定点向上的法线作为中心，从以预定角度间隔设定的多个入射方向，相对上述测定点使P偏振光或S偏振光的单色光以预定入射角度照射，对应于入射方向，检测出包含在其反射光中的偏振光成分内的、与照射光的偏振方向正交的偏振光成分的反射光强度，基于在所述反射光强度显示出极小值的入射方向中、被测定出了作为最大峰的两个极大值夹着的极小值或作为中间峰的两个极大值夹着的极小值的入射方向，确定测定点中光学轴的方位角方向，基于被测定出了作为所述反射光强度最大峰的极大值和作为与其邻接的中间峰的极大值夹着的极小值的入射方向，或基于被测定出了作为最大峰的极大值的入射方向，确定其测定点中光学轴的极角方向。
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