[发明专利]弹性表面波元件及其制造方法有效
| 申请号： | 200610084240.X | 申请日： | 2006-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN1874145A | 公开（公告）日： | 2006-12-06 |
| 发明（设计）人： | 藤本晴彦;尾崎恭辅;和贺聪;目黑利浩;池田刚 | 申请（专利权）人： | 阿尔卑斯电气株式会社 |
| 主分类号： | H03H3/08 | 分类号： | H03H3/08 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 刘建 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种弹性表面波元件，通过在梳齿状电极部(13、14)和压电性基板(12)之间设置由TiN或TiOxNy (但0＜x＜0.2，x+y＝1)构成的第1基底层(20、24)、和由Cr构成的第2基底层(21、25)，能够防止在梳齿状电极部(13、14)产生空隙部，能够提高耐电力特性。若能够防止在梳齿状电极部(13、14)产生空隙部，则能够抑制梳齿状电极部(13、14)的电阻值的增加并减少电力损失。另外，能够使串联共振频率及并联共振频率的变动变小。因此提供一种耐电力特性和温度特性良好的弹性表面波元件。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性 表面波 元件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种耐电力性高的弹性表面波元件，具有压电性基板、和在所述压电性基板上薄膜形成的电极部，其中，所述电极部具有梳齿状电极部、和与所述梳齿状电极部连接的连接电极部，所述梳齿状电极部具有基底层、和在基底层上层叠了的主电极层，所述基底层具有由TiN或TiOxNy构成的第1基底层、和由Cr构成的第2基底层，其中，0＜x＜0.2，x+y＝1。
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