[发明专利]一种表面活性剂组合物无效
| 申请号： | 200610084300.8 | 申请日： | 2006-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN1940044A | 公开（公告）日： | 2007-04-04 |
| 发明（设计）人： | 仲跻和 | 申请（专利权）人： | 天津晶岭电子材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C11D1/66 | 分类号： | C11D1/66;H01L21/304 |
| 代理公司： | 国嘉律师事务所 | 代理人： | 刘树人 |
| 地址： | 300385天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及活性剂，尤其涉及一种表面活性剂组合物，主要用于半导体材料，如：硅片、锗片、砷化镓等材料表面的清洗和存放。它含有多元醇类表面活性剂中的吐温系列、聚氧乙烯醚类表面活性剂中的JFC系列、平平加系列、Oπ系列中的一种和纯水；其重量配比：表面活性剂为5～20％、纯水为80～95％。其有益效果是水溶性好，能够降低表面张力，渗透性强，能有效去除半导体材料表面的颗粒和有机物，并维持清洗过的表面长时间不吸附颗粒，还可提高抛光速率，且无污染，不易燃烧。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面活性剂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种表面活性剂组合物，其特征是含有多元醇类表面活性剂中的吐温系列、聚氧乙烯醚类表面活性剂中的JFC系列、平平加系列、Oπ系列中的一种和纯水；其重量配比：表面活性剂为5～20％、纯水为80～95％。
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