[发明专利]膜图案的形成法、有源矩阵基板、电光装置、电子仪器

摘要

在基板P上形成划分具有第1图案形成区域(52、53)和由交叉部(56)分开的第2图案形成区域(55)的图案形成区域的围堰(51)。而且，在第1图案形成区域(52、53)内形成第1膜图案、在第2图案形成区域内形成第2膜图案后，对基板的全面实施疏液处理。其后，选择地保持第2膜图案的各规定位置的疏液性的情况下、降低基板上的疏液性。在第1膜图案和第2膜图案上层叠盖层，除去第2膜图案的各规定位置的疏液性，使各规定位置之间由导电膜连接。在分开的图案形成区域内形成具有盖层的膜图案时，通过使其形成工序简单化，提供可以提高膜图案的生产率的膜图案的形成方法、有源矩阵基板、电光学装置和电子仪器。

主权项

1.一种膜图案的形成方法，将功能液配置在设在基板上的由围堰划分的图案形成区域内而形成膜图案，其中，具备以下工序：在上述基板上形成划分图案形成区域的围堰的工序，所述图案形成区域具备第1图案形成区域和与该第1图案形成区域交叉、并在该交叉部中分开的第2图案形成区域；通过将功能液配置在上述第1图案形成区域内而作为第1膜图案、将功能液配置在上述第2图案形成区域内而作为第2膜图案的工序；对包括上述第1膜图案、上述第2膜图案、以及上述围堰的基板的全面，实施疏液处理的工序；其后，在选择性地保持以分开的状态形成的上述第2膜图案的各自的规定位置的疏液性的情况下、降低上述基板上的疏液性的工序；降低疏液性后，在上述第1膜图案和上述第2膜图案上层叠盖层的工序；层叠了上述盖层后，除去以分开的状态形成的第2膜图案的各自的规定位置的疏液性的工序；和在上述各规定位置之间形成导电膜、电连接以分开的状态形成的第2膜图案的工序。