[发明专利]并行飞秒激光双光子光聚合微纳加工方法及其装置无效
| 申请号： | 200610085349.5 | 申请日： | 2006-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN1862354A | 公开（公告）日： | 2006-11-15 |
| 发明（设计）人： | 周明;杨海峰;蔡兰 | 申请（专利权）人： | 江苏大学 |
| 主分类号： | G02F1/35 | 分类号： | G02F1/35 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 | 代理人： | 汪旭东 |
| 地址： | 212013江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 并行飞秒激光双光子光聚合微纳加工方法和装置，属于微纳加工技术，首先，开启泵浦激光器，将其产生的激光引入到飞秒激光器的谐振腔中，经振荡后产生的飞秒超短脉冲激光通过再生放大器将能量放大；然后，放大后的激光经过全反镜、衰减镜、光闸后，由光纤耦合器将其耦合到光纤阵列中，由微透镜阵列将飞秒激光聚焦到放置在盖玻片上的光敏树脂中，盖玻片固定在三维扫描平台上，整个加工过程由CCD监控，三维扫描平台的微动调节通过计算机控制系统控制连接于三维扫描平台上的驱动器来实现。 | ||
| 搜索关键词： | 并行 激光 光子 聚合 加工 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1.并行飞秒激光双光子光聚合微纳加工方法，其特征在于：首先，开启泵浦激光器，将其产生的激光引入到飞秒激光器的谐振腔中，经振荡后产生的飞秒超短脉冲激光通过再生放大器将能量放大；然后，放大后的激光经过全反镜、衰减镜、光闸后，由光纤耦合器将其耦合到光纤阵列中，由微透镜阵列将飞秒激光聚焦到放置在盖玻片上的光敏树脂中，盖玻片固定在三维扫描平台上，整个加工过程由CCD监控，三维扫描平台的微动调节通过计算机控制系统控制连接于三维扫描平台上的驱动器来实现。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏大学，未经江苏大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610085349.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
