[发明专利]电阻测量系统及应用其的测量方法有效
| 申请号： | 200610087800.7 | 申请日： | 2006-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN1862389A | 公开（公告）日： | 2006-11-15 |
| 发明（设计）人： | 蔡承卫 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01R27/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 吕晓章;李晓舒 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种电阻测量系统，应用于一机台，机台具有基座及承载座。承载座具有至少一第一气垫，第一气垫设置在承载座的底面，承载座以第一气垫悬浮在基座上。电阻测量系统包括一电阻计，电阻计具有接地输入端及至少一第一欧姆输入端。接地输入端耦接基座，第一欧姆输入端耦接第一气垫，电阻计测量第一气垫及基座间的电阻值。当电阻值小于一临界电阻值时，电阻计发出一信号以使机台停止运作。 | ||
| 搜索关键词： | 电阻 测量 系统 应用 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种电阻测量系统，应用于一机台，该机台具有一基座及一承载座，该承载座具有至少一第一气垫，该第一气垫设置在该承载座的底面，该承载座以该第一气垫悬浮在该基座上，该电阻测量系统包括：一电阻计，该电阻计具有一接地输入端及至少一第一欧姆输入端，该接地输入端耦接该基座，该第一欧姆输入端耦接该第一气垫，该电阻计测量该第一气垫及该基座间的一第一电阻值；其中，当该第一电阻值小于一临界电阻值时，该电阻计发出一第一信号至该机台，使该机台停止运作。
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