[发明专利]静电吸附电极、基板处理装置和静电吸附电极的制造方法

摘要

本发明提供一种使用聚酰亚胺薄膜等耐热性合成树脂薄膜作为绝缘层的一部分，能够充分确保电极层的电连接的静电吸附电极。将黏合剂(101)涂敷在基体材料(41)上，粘贴合成树脂薄膜(42)和导电性薄膜(43)的叠层体。在安装有供电杆(70)的状态下，通过喷涂装置(100)进行定点喷涂，将导电性材料喷涂在开(42a、43a)中，形成喷涂部(45)。其次，将用于喷涂的打底剂(102)涂敷在导电性薄膜(43)的表面上后，使用喷涂装置(100)将Al₂O₃等陶瓷均匀地喷涂在导电性薄膜(43)的表面上，进行绝缘覆盖。

主权项

1.一种静电吸附电极，用于在基板处理装置中吸附保持基板，其特征在于，具备：基体材料；设置在该基体材料上的第一绝缘层；设置在所述第一绝缘层的上层的电极层；和设置在所述电极层的上层的第二绝缘层，所述第一绝缘层由耐热性合成树脂薄膜形成，所述电极层的一部分或全部通过喷涂形成。