[发明专利]一种标准气体的动态配制系统

摘要

本发明公开了一种标准气体的动态配制系统，该系统由气路部分和电气控制部分构成；其中，气路部分包括混气室、恒温水槽，恒温水槽上带有制冷源、加热源、循环水泵，其内设置有渗透型原料标准气或扩散型原料标准气储气装置；电气控制部分包括质量流量控制器、PID自整定仪表、中心计算机，其中质量流量控制器控制质量流量器的工作，PID自整定仪表控制恒温水槽的工作，中心计算机控制质量流量控制器、PID自整定仪表及循环水泵的工作。本发明配气系统不仅能用原料气配制所需浓度和流量的标准气，而且能将标准瓶气按照设定的流量释放，采用PID温度控制技术，可精确控制恒温槽的温度，同时系统还能够对误差进行自动补偿，从而保证设定值的准确度。

主权项

1.一种标准气体的动态配制系统，其特征在于，由气路部分和电气控制部分构成；其中，气路部分包括混气室、恒温水槽、原料稀释气输入端口、原料标准气输入端口、配制后标准气输出口，恒温水槽上设置有制冷源、加热源、循环水泵，其内设置有渗透型原料标准气或扩散型原料标准气储气装置，恒温水槽上还设置有供与其内安装的储气装置上的相应端口相连的稀释气输入口和一级混合气输出口，在一级混合气输出口与储气装置相连的管道中设置有气体温度传感器，原料稀释气输入端口通过管道一路经质量流量器与混气室上的原料稀释气输入口相连，另一路经控制阀、质量流量器与恒温水槽上的稀释气输入口相连，原料标准气输入端口经管道、控制阀、质量流量器与混气室上的原料标准气输入口相连，恒温水槽上的一级混合气输出口经管道与混合室上的一级混合气输入口相连，混合室上的标准混合气输出口经管道与配制后标准气输出口相连；电气控制部分包括质量流量控制器、PID自整定仪表、中心计算机，其中质量流量控制器对所述质量流量器的工作进行控制，PID自整定仪表根据所述恒温水槽上气体温度传感器的检测信号对制冷源及加热源的工作进行控制，以通过调节恒温水槽的水温来保证所输出一级混合气气温的恒定，中心计算机控制质量流量控制器、PID自整定仪表及循环水泵的工作。