[发明专利]砷化镓/空气型可调谐滤波器及制作方法无效
| 申请号： | 200610089348.8 | 申请日： | 2006-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN101093265A | 公开（公告）日： | 2007-12-26 |
| 发明（设计）人： | 吴旭明;王小东;谭满清 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G02B6/34 | 分类号： | G02B6/34;G02F1/21;G02F1/225 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种砷化镓/空气型可调谐滤波器，其特征在于，包括：一衬底，该衬底为砷化镓衬底；一缓冲层，该缓冲层制作在衬底上；一下分布布拉格反射镜，该下布拉格反射镜制作在缓冲层上，是滤波器的下反射镜；一空气腔，该空气腔制作在下布拉格反射镜上，用于可调谐；一上分布布拉格反射镜，该上分布布拉格反射镜制作在空气腔上，是滤波器的上反射镜；一p电极，该p电极制作在上分布布拉格反射镜的上面；一n电极，该电极制作在n型砷化镓衬底的下面。 | ||
| 搜索关键词： | 砷化镓 空气 调谐 滤波器 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种砷化镓/空气型可调谐滤波器，其特征在于，包括：一衬底，该衬底为砷化镓衬底；一缓冲层，该缓冲层制作在衬底上；一下分布布拉格反射镜，该下布拉格反射镜制作在缓冲层上，是滤波器的下反射镜；一空气腔，该空气腔制作在下布拉格反射镜上，用于可调谐；一上分布布拉格反射镜，该上分布布拉格反射镜制作在空气腔上，是滤波器的上反射镜；一p电极，该p电极制作在上分布布拉格反射镜的上面；一n电极，该电极制作在n型砷化镓衬底的下面。
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