[发明专利]电阻拾振式硅微机械谐振传感器的数字锁相闭环无效
| 申请号： | 200610089391.4 | 申请日： | 2006-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN1866747A | 公开（公告）日： | 2006-11-22 |
| 发明（设计）人： | 樊尚春;蔡晨光;邢维巍 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | H03L7/18 | 分类号： | H03L7/18;G01H11/06 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人： | 关玲;成金玉 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 电阻拾振式硅微机械谐振传感器的数字锁相闭环，闭环控制系统包括低通滤波器，模拟数字转换器、微处理器、直接数字合成参考信号源、直接数字合成激励信号源和激励放大器。敏感结构的拾振电阻输出的信号经过低通滤波器放大和滤波后，由模拟数字转换器转换成数字信号输入到微处理器中，微处理器控制直接数字合成参考信号源输出拾振电阻的参考信号，微处理器控制直接数字合成激励信号源输出的正弦信号经过激励放大器放大，作为敏感结构中激励元件的激励信号激励谐振器。由敏感元件的拾振电阻、低通滤波器、模拟数字转换器、微处理器和直接数字合成参考信号源构成一个锁相环，其中拾振电阻作为鉴相器，从而实现传感器的数字锁相闭环。 | ||
| 搜索关键词： | 电阻 拾振式硅 微机 谐振 传感器 数字 闭环 | ||
【主权项】：
1、电阻拾振式硅微机械谐振传感器的数字锁相闭环，其特征在于：闭环控制系统(2)包括敏感元件(1)的拾振电阻(9)、低通滤波器(7)、模拟数字转换器(6)、微处理器(5)、直接数字合成参考信号源(8)、直接数字合成激励信号源(4)和激励放大器(3)组成，敏感结构(1)的拾振电阻(9)输出的信号经过低通滤波器(7)放大和滤波，由模拟数字转换器(6)换成数字信号输入到微处理器(5)中，微处理器(5)控制直接数字合成参考信号源(8)输出正弦信号作为拾振电阻(9)的参考信号，微处理器(5)控制直接数字合成激励信号源(4)输出的正弦信号经过激励放大器(3)放大，作为敏感结构中激励元件(11)的激励信号激励谐振器(10)，从而实现传感器的锁相闭环。
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