[发明专利]有机薄膜晶体管、其制造方法、和包括其的平板显示器

摘要

本发明公开了一种有机薄膜晶体管(OTFT)、一种制造这样的OTFT的方法、和包括这样的OTFT的有机电致发光(EL)显示器。所述OTFT具有由于使用氟基气体表面处理对应于沟道区的基底的部分以稳定沟道区而改善了的特性。所述方法包括：处理基底表面的预定部分；在未被表面处理的基底的部分上形成源电极和漏电极；形成半导体层以接触所述基底的表面处理过的部分；在所述基底上形成栅绝缘层；并且在所述栅绝缘层上形成栅极。所述基底使用例如CF₄或C₃F₈的氟基气体进行等离子体表面处理。

主权项

1.一种薄膜晶体管，包括：基底，包括接触沟道区的第一区、和不接触所述沟道区的第二区，其中所述第一区和第二区具有彼此不同的表面特性；源电极和漏电极，布置在第二区上；半导体层，包括接触所述基底的第一区的沟道区；栅极，布置在所述基底上；和栅极绝缘层，布置在源电极和漏电极与栅极之间。