[发明专利]涂敷、显影装置

摘要

本发明提供一种能够按所希望的定时进行曝光装置维护的涂敷、显影装置。该涂敷、显影装置在将搬入输送机模块的基板搬运到处理模块并形成涂敷膜之后，通过接口模块搬运到曝光装置，通过上述接口模块返回来的曝光后的基板在上述处理模块中进行显影处理并搬运到输送机模块，其中设置搬运装置，该搬运装置相对于上述涂敷膜形成用模块及显影用模块层叠并且在输送机模块和接口模块之间将形成涂敷膜的基板从输送机模块一侧直达搬运到接口模块一侧。通过这种结构，即使涂敷膜形成用模块和显影用模块处于维护中，由于可以将检查用基板搬运到曝光装置中，所以也能够检查曝光装置的状态。

主权项

1.一种涂敷、显影装置，其中将利用输送机搬入输送机模块中的基板交付给处理模块，在此处理模块中形成含有感光材料膜的涂敷膜，然后，通过接口模块搬运到曝光装置，将经由上述接口模块返回来的曝光后的基板在上述处理模块中进行显影处理，并交付给上述输送机模块，其特征在于，a)上述处理模块包括：分别从输送机模块一侧延伸到接口模块一侧的、用于形成含有由感光材料形成的涂敷膜的膜的涂敷膜形成用模块；以及相对于此涂敷膜形成用模块而层叠的显影用模块，b)上述涂敷膜形成用模块及显影用模块包括：用于对基板涂敷药液的液体处理单元、加热基板的加热单元、冷却基板的冷却单元、以及在这些单元之间搬运基板的模块用搬运装置，c)设置有直达搬运装置，该直达搬运装置相对于上述涂敷膜形成用模块及显影用模块进行层叠，用于在输送机模块和接口模块之间进行基板的直达搬运，d)通过上述直达搬运装置，将形成有涂敷膜的基板从输送机模块一侧搬运到接口模块一侧。