[发明专利]薄膜晶体管、其制备方法和具有它的平板显示设备

摘要

本发明公开了具有以多个六角形图案方式向基板施加的圆形半导体元件的有机薄膜晶体管，其制备方法，以及用于该方法中的影孔板，其使有机薄膜晶体管无需将影孔板在基板上精确对准即可形成。所述基板具有多个薄膜晶体管，每个都具有漏极、源极、栅极和由半导体元件形成的沟道，由于半导体元件的相对尺寸和对准，其可以同时连接一个晶体管的漏极和源极，但不连接相邻晶体管的两个电极。所述影孔板包括六角形图案的开口，所述图案相对于漏极和源极的纵轴旋转15°以形成沟道。

主权项

1、一种基板，包含：多对薄膜晶体管用漏极和源极；和排列成图案的多个半导体元件，其中一个电极对中的漏极和源极之间的第一距离小于第二距离，该第二距离是该一个电极对中的一个电极与相邻电极对中的一个电极之间的最小距离或一个电极对中的漏极或源极与基板导线之间的距离，而且其中半导体元件的最大尺寸小于所述第二距离并等于或大于所述第一距离。