[发明专利]工序管理装置及工序管理方法

摘要

提供一种工序管理装置，在对被对象物进行处理的处理系统中，当因处理的不良导致被对象物产生不良时，即使熟练度低的用户也能准确且迅速地推断不良要因。推断处理部(21)，从推断知识记录部(23)读出与直至不良要因为止的条件相关的信息，并顺次将该条件作为问题向用户提示。使各条件与分析ID相对应，数据处理部(32)接收与问题对应的条件的分析ID信息，由此从数据收集加工表(35)读出与该ID对应的数据收集方法信息和数据加工方法信息，并根据其进行分析，将分析结果向用户提示。

主权项

1.一种工序管理装置，其特征在于，具有：推断知识记录部，记录要因推断知识信息，该要因推断知识信息，使对被对象物进行处理的处理系统中可能产生的多个不良结果、分别与1个以上不良要因候补相对应，并且包括与直至各不良要因为止的条件相关的信息、以及与各条件对应的分析ID信息；分析方法记录部，记录与上述处理系统中的处理过程的检查结果相关的检查结果数据的分析方法信息、以及与各分析方法信息对应的分析ID信息；要因推断单元，基于与指定的不良结果对应的上述要因推断知识信息，推断与该不良结果对应的不良要因；以及分析处理单元，基于上述分析方法信息，进行检查结果数据的分析，上述要因推断单元，将推断不良要因所需要的上述条件作为问题向用户提示，并且上述分析处理单元，通过接收与上述问题对应的条件的分析ID信息，而基于与该ID对应的上述分析方法信息进行分析，并将分析结果向用户提示。