[发明专利]微光机电陀螺

摘要

本发明涉及测量转动角速度的装置，具体涉及声波技术，集成光波导技术的微光机电陀螺。它由激光光源、声表面波传感器、光波导、电光调制器、探测器和信号处理系统组成，其特征在于采用衍射光信号的读出方式对陀螺转动角速度进行测量。叉指换能器(IDT)产生声表面波改变介质的折射率形成密度光栅，使得波导中传输的光在声波光栅上发生衍射，由于物体在旋转时会产生哥氏力，使得声波的频率特征参量发生变化，探测器接收一级衍射光，从光强与相位的变化中解读出哥氏力敏感的角速度信息。本发明具有抗振动、抗电磁干扰的性能和宽的温度适应性，与现有的MEMS陀螺相比具有更高的精度。可以应用于中低精度的惯性测量单元。

主权项

1.一种微光机电陀螺，由声表面波传感器、光读出器和信号处理系统组成。其中声表面波传感器由叉指换能器和微波驱动电源构成；光读出器由激光光源、光源驱动电源、电光调制器和光电探测器构成，信号处理系统采用电信号处理方式。其特征在于采用声表面波传感器加光学读出系统相结合的角速率探测结构：在条状光波导上面制作出声表面波叉指换能器产生声表面波，其间加缓冲层，激光光源与光电探测器键合在波导两端，光电探测器连接信号处理电路，实现角速率信号的解调与输出。