[发明专利]多真空蒸镀装置及其控制方法无效
| 申请号： | 200610091638.6 | 申请日： | 2006-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN1854332A | 公开（公告）日： | 2006-11-01 |
| 发明（设计）人： | 李星昊;金秀涣;黄珉婷 | 申请（专利权）人： | 三星SDI株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 魏晓刚;李晓舒 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种多真空蒸镀装置及其控制方法。真空蒸镀装置包括多个蒸发源、适合旋转该多个蒸发源的旋转部件和适合在任何时候遮挡所述多个蒸发源中除了一个以外的其它所有蒸发源的涂镀挡板，所述多个蒸发源中的每一个都包括一个壳体、一个设置在所述壳体内的坩锅、在坩锅内的蒸发材料、一个设置在坩锅外部并适合加热和蒸发所述蒸发材料的加热装置、一个适合阻挡由加热装置产生的热向外传递的冷却装置。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 装置 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置，包括：多个蒸发源；一个适合旋转该多个蒸发源的旋转部件；一个适合在任何时候阻挡所述多个蒸发源中除了一个以外的其它所有蒸发源的涂镀挡板，所述多个蒸发源中的每一个都包括一个壳体、一个设置在所述壳体内的坩锅、设置在该坩锅内的蒸发材料、一个设置在坩锅外部并适合加热和蒸发所述蒸发材料的加热装置、一个适合于阻挡由该加热装置产生的热向外传递的冷却装置。
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