[发明专利]模子、图案形成方法以及图案形成设备有效
| 申请号： | 200610091716.2 | 申请日： | 2006-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN1876395A | 公开（公告）日： | 2006-12-13 |
| 发明（设计）人： | 末平信人;关淳一;真岛正男;寺崎敦则;稻秀树 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | B41N1/24 | 分类号： | B41N1/24;B41M5/26;B41K3/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 范莉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种用于形成图案的图案形成方法，包括：制备模子104，该模子104具有包括图案区域1000的第一表面、与第一表面相对的第二表面以及被设在远离第二表面并靠近第一表面的位置处的对准标记2070；使模子104的图案区域1000与设在衬底5000上的涂覆材料接触；在涂覆材料被设于衬底5000上的对准标记2070和衬底5000彼此相对的部分处的情况下，通过利用对准标记2070和在衬底5000上设置的标记5300，来获得关于模子104和衬底5000的位置信息；以及在所述信息的基础上，实施衬底5000与模子104的高精度对准。 | ||
| 搜索关键词： | 模子 图案 形成 方法 以及 设备 | ||
【主权项】：
1.一种模子，包括：具有待转印图案的区域的第一表面；与所述第一表面相对定位的第二表面；对准标记，该对准标记被嵌入所述模子中以便不暴露在所述第一表面和所述第二表面上。
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