[发明专利]制造发光二极管的方法无效
申请号: | 200610091821.6 | 申请日: | 2006-05-29 |
公开(公告)号: | CN1870312A | 公开(公告)日: | 2006-11-29 |
发明(设计)人: | 林时钟 | 申请(专利权)人: | LG电子株式会社;LG伊诺特有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 钟强;谷惠敏 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 一种制造发光二极管的方法,其中激光剥离(LLO)层和外延层形成于氮化物半导体衬底上,然后通过激光剥离工艺分离氮化物半导体衬底,由此提高了外延层的特性,并能够制造高品质且高效率的发光二极管。而且,由此分离的LLO层使用激光束来移除,以便重新使用相对昂贵的氮化物半导体衬底,由此降低了制造成本。 | ||
搜索关键词: | 制造 发光二极管 方法 | ||
【主权项】:
1.一种制造发光二极管的方法,包括:形成激光剥离(LLO)层,该激光剥离(LLO)层将通过在衬底上照射的激光束来移除的;在LLO层上形成具有第一极性的第一层、有源层和具有与第一极性相反的极性的第二层;和通过将激光经由衬底照射到LLO层上来移除LLO层,以分离衬底。
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