[发明专利]动体测定用干涉仪装置以及动体测定用光干涉测量方法无效
| 申请号： | 200610092537.0 | 申请日： | 2006-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN1880911A | 公开（公告）日： | 2006-12-20 |
| 发明（设计）人： | 植木伸明;高桥秀典 | 申请（专利权）人： | 富士能株式会社 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开一种动体测定用干涉仪装置以及动体测定用光干涉测量方法，所述干涉仪装置具备：同步信号生成部(43)，其将瞬间的摄像期间设定为包含于摄像面(33)的受光容许期间内；AOM(13)和AOM驱动器(14)，所述AOM用于使从半导体激光光源(11)出射的测定用光束，仅在该瞬间的摄像期间照射被检测体(7)。摄像机(32)，根据在瞬间的摄像期间由摄像面(33)所受光的干涉光，得到载持了该瞬间的摄像期间的被检测体(7)的相位信息的干涉条纹图像信息。从而，能够对成为测定对象的部分顺次移动的那样的被检测体，进行光干涉测量。 | ||
| 搜索关键词： | 测定 干涉仪 装置 以及 用光 干涉 测量方法 | ||
【主权项】：
1、一种动体测定用干涉仪装置，对移动的被检测体进行光干涉测量，其中，具备：光束输出机构，其输出测定用光束；干涉光学系统，其对相对于该干涉仪装置而移动的所述被检测体照射所述测定用光束，使由该被检测体所反射的反射被检测光或透过该被检测体的透过被检测光，与基准光干涉而得到干涉光；摄像机构，其通过用摄像面受光所述干涉光而得到图像信息；摄像定时控制机构，其将可视为所述被检测体相对于该干涉仪装置大致静止的瞬间的摄像期间，设定为包含于所述摄像面的受光容许期间内，并以仅在该瞬间的摄像期间使所述干涉光入射到所述摄像面的方式进行控制，所述摄像机构，构成为：根据在所述瞬间的摄像期间由所述摄像面所受光的所述干涉光，得到载持了该瞬间的摄像期间的所述被检测体的相位信息的干涉条纹图像。
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