[发明专利]膜形成方法、膜形成装置及液晶装置的制造方法无效
| 申请号： | 200610092746.5 | 申请日： | 2004-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN1908775A | 公开（公告）日： | 2007-02-07 |
| 发明（设计）人： | 蛭间敬 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/1337 | 分类号： | G02F1/1337;B41J2/01;G02F1/133 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种膜形成方法、膜形成装置及液晶装置的制造方法。膜形成装置(10)将液体材料作为液滴喷出，使该液滴在基板(20)上、以规定的节距(P1)着落并在基板(20)上形成涂膜。规定的节距(P1)根据液滴向基板(20)着落后的直径(L1)来决定。由此，可以实现滴下痕迹的减轻，在基板上形成均匀的涂膜。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 方法 装置 液晶 制造 | ||
【主权项】：
1.一种膜形成方法，将液体材料作为液滴喷出、在基板上形成膜，其特征在于，具有：对着落后的所述液滴的直径预先进行测定的工序；基于测定的结果，对作为所述的液滴的喷出间隔的节距进行设定的工序；以及使所述液滴在所述基板上以所述节距着落而在所述基板上形成涂膜的涂敷工序。
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