[发明专利]校准用的标准样品无效
申请号: | 200610092820.3 | 申请日: | 2006-06-16 |
公开(公告)号: | CN1884966A | 公开(公告)日: | 2006-12-27 |
发明(设计)人: | H·费希尔 | 申请(专利权)人: | 赫尔穆特·费希尔地产两合公司 |
主分类号: | G01B21/00 | 分类号: | G01B21/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 崔幼平 |
地址: | 德国辛*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 一种校准用的标准样品,特别是用于校准薄层厚度的无损测量装置的校准用的标准样品,它有由一种基础材料构成的携带层(12)和施加在该携带层(12)上的标准样品(17),标准样品有要测量的层厚,装置将在该层厚上进行校准,携带层(12)包括与它的支承表面(14)平面平行的测量表面(16),标准样品(17)包括与它的测量表面平面(19)平行的支承表面(18),用来支承在携带层(12)的测量表面(16)上,并且,借助于靠摩擦进行焊接将标准样品(17)永久地设置在携带层(12)上。 | ||
搜索关键词: | 校准 标准 样品 | ||
【主权项】:
1.一种校准用的标准样品,特别是用于校准薄层厚度的无损测量的装置的校准用的标准样品,它带有包括一种基础材料的携带层(12)和施加到所述携带层(12)上的标准样品(17),所述标准样品具有要测量的层厚,装置将在所述层厚上进行校准,其特征在于,所述携带层(12)包括与它的支承表面(14)平面平行的测量表面(16),所述标准样品(17)包括与它的测量表面(19)平面平行的支承表面(18),用来支承在所述携带层(12)的所述测量表面(16)上,且其中,借助于靠摩擦焊接使所述标准样品(17)永久地设置在所述携带层(12)上。
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