[发明专利]校准用的标准样品无效

专利信息
申请号: 200610092820.3 申请日: 2006-06-16
公开(公告)号: CN1884966A 公开(公告)日: 2006-12-27
发明(设计)人: H·费希尔 申请(专利权)人: 赫尔穆特·费希尔地产两合公司
主分类号: G01B21/00 分类号: G01B21/00
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 崔幼平
地址: 德国辛*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 一种校准用的标准样品,特别是用于校准薄层厚度的无损测量装置的校准用的标准样品,它有由一种基础材料构成的携带层(12)和施加在该携带层(12)上的标准样品(17),标准样品有要测量的层厚,装置将在该层厚上进行校准,携带层(12)包括与它的支承表面(14)平面平行的测量表面(16),标准样品(17)包括与它的测量表面平面(19)平行的支承表面(18),用来支承在携带层(12)的测量表面(16)上,并且,借助于靠摩擦进行焊接将标准样品(17)永久地设置在携带层(12)上。
搜索关键词: 校准 标准 样品
【主权项】:
1.一种校准用的标准样品,特别是用于校准薄层厚度的无损测量的装置的校准用的标准样品,它带有包括一种基础材料的携带层(12)和施加到所述携带层(12)上的标准样品(17),所述标准样品具有要测量的层厚,装置将在所述层厚上进行校准,其特征在于,所述携带层(12)包括与它的支承表面(14)平面平行的测量表面(16),所述标准样品(17)包括与它的测量表面(19)平面平行的支承表面(18),用来支承在所述携带层(12)的所述测量表面(16)上,且其中,借助于靠摩擦焊接使所述标准样品(17)永久地设置在所述携带层(12)上。
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