[发明专利]药液认定方法、半导体器件及液晶显示装置的制造方法无效
| 申请号： | 200610094228.7 | 申请日： | 2006-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN1892422A | 公开（公告）日： | 2007-01-10 |
| 发明（设计）人： | 近藤丈博;青山寿子;盐原英志;伊藤信一 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;H01L21/00;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 李峥;于静 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种药液认定方法。该药液的认定方法包括以下步骤：(a)按照颗粒的每种尺寸，求出药液中的颗粒数量；(b)按照上述颗粒的每种尺寸，预测上述药液对使用该药液制造的被制造器件产生的影响；和(c)使用上述(a)的结果和上述(b)的结果，求出上述药液对上述被制造器件产生的影响度，根据该求出的结果评价上述药液的品质，根据该评价结果判断上述药液是否合格，根据该判断结果，把上述药液认定为在上述被制造器件的制造工序中使用的药液。 | ||
| 搜索关键词： | 药液 认定 方法 半导体器件 液晶 显示装置 制造 | ||
【主权项】：
1.一种药液的认定方法，包括以下步骤：(a)按照颗粒的每种尺寸，求出药液中的颗粒数量；(b)按照上述颗粒的每种尺寸，预测上述药液对使用该药液制造的被制造器件产生的影响；和(c)使用上述(a)的结果和上述(b)的结果，求出上述药液对上述被制造器件产生的影响度，根据该求出的结果评价上述药液的品质，根据该评价结果判断上述药液是否合格，根据该判断结果，把上述药液认定作为在上述被制造器件的制造工序中使用的药液。
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