[发明专利]液滴喷出装置无效
| 申请号： | 200610095698.5 | 申请日： | 2006-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN1891461A | 公开（公告）日： | 2007-01-10 |
| 发明（设计）人： | 实方崇仁 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/01 | 分类号： | B41J2/01;B41J3/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种容易管理与液滴喷出及激光照射相关的参数，并可准确、迅速地进行将液滴喷到工件的描绘系统、所喷出的液滴与激光点的定位的液滴喷出装置。具有：基台(防振台)(2)；描绘系统(3)，其包括：使功能液以液滴形态喷出的液滴喷出头(31)、保持上述液滴喷出头(31)的滑架(32)、保持描绘有液滴的工件W的载物台(3a)；光学系统(4)，其包括：输出激光的光源(40)、在光源(40)与液滴之间构成并使入射到液滴的激光通过的光程(4a、4b、4c)，在基台(2)上，将基台的上面作为基准面，共同构筑描绘系统(3)与光学系统(4)，并通过描绘系统(3)与光学系统(4)的联动控制进行图案的描绘、定影。 | ||
| 搜索关键词： | 喷出 装置 | ||
【主权项】：
1.一种液滴喷出装置，具有：基台；描绘系统，其包括：使功能液以液滴形态喷出的液滴喷出头、保持所述液滴喷出头的滑架、和保持描绘有所述液滴的工件的载物台；光学系统，其包括：输出激光的光源、在所述光源与所述液滴之间构成并使入射到该液滴的所述激光通过的光程，在所述基台上，将该基台上面作为共同的基准面构筑所述描绘系统和所述光学系统，并且通过两个系统的联动控制进行图案的描绘、定影。
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