[发明专利]聚合物光波导路的电极形成方法无效
| 申请号： | 200610095989.4 | 申请日： | 2006-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN1892269A | 公开（公告）日： | 2007-01-10 |
| 发明（设计）人： | 吴玉英;石川重太 | 申请（专利权）人： | 株式会社精工技研 |
| 主分类号： | G02B6/10 | 分类号： | G02B6/10;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 许静 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在聚合物光波导路上粘合性良好地形成薄膜的加热电极图形，并且在电极形成工艺中把聚合物光波导路受到的表面损伤抑制到最低，由此来提前避免在加热电极图形上产生褶皱、断裂、剥离等的危险性。聚合物光波导路的电极形成方法：首先，在对聚合物光波导路表面活性化处理后，全面地形成加热电极膜。接着，在加热电极膜上涂布保护层，并通过印刻了加热电极的图形的光刻处理来形成保护层图形。然后，对保护层图形进行蚀刻来形成加热电极图形。接着，除去加热电极图形上的残留保护层。 | ||
| 搜索关键词： | 聚合物 波导 电极 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种聚合物光波导路的电极形成方法，其特征在于，包含：在对聚合物光波导路表面进行活性化处理后，实质地在全部表面上形成加热电极膜的工序；在所述加热电极膜上涂布保护层，并通过印刻了加热电极的图形的光刻处理来形成保护层图形的工序；对所述保护层图形进行蚀刻来形成加热电极图形的工序；和除去所述加热电极图形上的残留保护层的工序。
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