[发明专利]法布里－珀罗型光纤压力传感器及其制作方法无效
| 申请号： | 200610096596.5 | 申请日： | 2006-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN101017116A | 公开（公告）日： | 2007-08-15 |
| 发明（设计）人： | 王鸣;陈绪兴;葛益娴;戎华;倪小琦 | 申请（专利权）人： | 南京师范大学 |
| 主分类号： | G01L11/02 | 分类号： | G01L11/02;G01L1/24;G01D5/353;G02B6/36 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 | 代理人： | 汪旭东 |
| 地址： | 210097*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种法布里－珀罗型光纤压力传感器，由单晶硅片、玻璃圆管、光纤法兰盘和光纤插头构成，其特征是：单晶硅片与玻璃圆管的一个端口通过阳极键合工艺结合；玻璃圆管另一端的侧壁与光纤法兰盘的凹槽粘结。光纤插头连接到光纤法兰盘上，光纤插头上的陶瓷插针与单晶硅片的下表面形成法布里－珀罗腔。同时还公开了制作该传感器的方法，主要步骤为：将切割后的玻璃管与硅片放在键合炉上使其键合；在玻璃管的外壁涂上环氧树脂后将其粘接到光纤法兰盘的凹槽内；将光纤插头旋接于光纤法兰盘；光纤插头上的陶瓷插针与单晶硅片上的下表面形成法布里—珀罗腔。本发明制作简便，精度高，灵敏度高，可靠性好。 | ||
| 搜索关键词： | 法布里 珀罗型 光纤 压力传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1、一种法布里-珀罗型光纤压力传感器，由单晶硅片(4)、玻璃圆管(3)、光纤法兰盘(1)和光纤插头构成，其特征是：单晶硅片(4)与玻璃圆管(3)的一个端口通过阳极键合工艺结合；玻璃圆管(3)另一端的侧壁与光纤法兰盘(1)的凹槽(5)粘结；光纤插头连接到光纤法兰盘上，光纤插头上的陶瓷插针(2)与单晶硅片(4)的下表面形成法布里-珀罗腔。
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