[发明专利]可实现正反向流体流动的驻波驱动压电陶瓷泵

摘要

一种可实现正反向流体流动的驻波驱动压电陶瓷泵，属精密机械中流体泵，该泵包含泵壳、泵盖(或挡流块)、压电振子、进流口和出流口。其特点是由两块平行的泵壳，两个泵盖和压电振子围成泵腔；或者由环形泵壳、挡流块和压电振子围成泵腔。所述压电振子由压电陶瓷黏贴在金属片上构成，压电陶瓷片的正面采用均匀等分的电极区，电极区的分割数量为2n，n为所述压电陶瓷泵沿流体流动方向的波数，在电场作用下，压电振子形成沿流体流动方向的n个波长为λ的驻波超声振动，所述每个电极区的极化方向沿所述压电陶瓷片的厚度方向，且方向交替相反。该泵结构简单、可靠性好、操作方便，适用于需要精确控制的微量供给的场合。

主权项

1.一种可实现正反向流体流动的驻波驱动压电陶瓷泵，包括泵壳、压电振子、泵盖、进流口和出流口，其特征在于：(1)所述泵壳由两块相互平行的泵壳构成；(2)所述泵盖安装在两块相互平行的泵壳两端对泵壳进行密封；(3)所述压电振子至少有上下两片，分别黏附在上述两块相互平行的泵壳内侧，与两块相互平行的泵壳构成其横截面为矩形的立方体单连通空间的泵腔，也可由两片以上的压电振子构成一个单连通空间的泵腔；(4)所述进流口和出流口，固接在上述泵盖上侧，分别与上述的泵腔连通；(5)所述的压电振子由压电陶瓷片黏贴在金属片上所构成，该压电陶瓷片的正面均匀地分割2n个极化区域，其中n为所述压电陶瓷泵沿流体流动方向的波数，取n＝2，3，…，10，它形成沿流体流动方向的n个波长为λ的驻波超声振动，其中λ＝L/n，L为腔体沿波动方向的长度，所述每个电极区的极化方向沿所述压电陶瓷片的厚度方向，且方向交替相反；(6)所述泵壳接电源的地线，压电陶瓷的正面接电源的正弦信号或余弦信号。