[发明专利]脉冲射频板条CO2激光器的起辉、稳定放电方法

摘要

本发明涉及一种脉冲射频板条CO₂激光器的起辉、稳定放电方法，包括以下步骤：将扫频仪通过驻波电桥(4)与激光器阻抗匹配器(2)上的同轴接头相连，将可变电容C₁和C₂及L组成π网络阻抗匹配器(2)；打开扫频仪(5)，调节C₁、C₂的值，在扫频仪的显示屏上调出激光器频率特性曲线；将射频源(6)与激光器用同轴电缆(3)相连，开启射频源，输入峰值≤2KW的占空比≤20％的射频脉冲功率，激光器起辉，输出微弱激光；继续调节C₂，使激光器的反射功率最小；将射频源的输出由≤20％占空比调至50％，继续调节C₂使之反射功率最小，此时，激光器在f₀运行，进入了稳定运行状态。本发明不需要紫外光束预电离，射频源也只需发射一个载波频率、占空比和调制频率可变的射频脉冲，激光器就可安全工作、稳定运行。

主权项

1、一种脉冲射频板条CO₂激光器的起辉、稳定放电方法，其特征在于该方法包括以下工艺步骤：步骤一、将扫频仪(5)通过驻波电桥(4)与激光器阻抗匹配器(2)上的同轴接头(3.1)相连，在激光器(1)内置上、下两块相互平行、距离≤2mm的电极(1.1)、(1.2)，上、下两电极(1.1)、(1.2)之间沿两侧面等距离地连接有两并联谐振电感L₁，下电极(1.2)与激光器的机壳(1.3)相连，将可变电容C₁和C₂的正极用电感L相连，将可变电容C₁的正极与同轴接头(3.1)的内导体相连，将可变电容C₂的正极与激光器(1)的上电极(1.1)相连，将可变电容C₁和C₂的负极与激光器的机壳(1.3)相连，机壳(1.3)接地，可变电容C₁和C₂及电感L组成π网络阻抗匹配器(2)，对π网络阻抗匹配器(2)的参数作如下选择：C₁＞＞C₂，L＜0.186μH，当放电面积为180cm²～360cm²时，选择可变电容C₁的最大值为1000pf，可变电容C₂的最大值为100pf；步骤二、打开扫频仪(5)，调节C₁、C₂的值，在扫频仪的显示屏上调出形激光器频率特性曲线，该谐振曲线的谐振频率为f₀，它与射频源的载波频率相同；步骤三、将全固态脉冲射频源(6)与激光器(1)用同轴电缆(3)相连，开启全固态脉冲射频源(6)，输入峰值≤2KW的占空比≤20％的射频脉冲功率，激光器起辉，输出微弱激光；步骤四、继续调节C₂，从全固态脉冲射频源的反向功率指示表(7)上监测，使激光器的反射功率最小；步骤五、将全固态脉冲射频源的输出由≤20％占空比调至50％占空比，峰值功率上升到6KW，继续调节C₂使之反射功率最小，此时，激光器在f₀运行，进入了稳定运行状态。