[发明专利]玻璃基底光学读出红外传感器无效
| 申请号： | 200610098122.4 | 申请日： | 2006-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN1970430A | 公开（公告）日： | 2007-05-30 |
| 发明（设计）人： | 张青川;董凤良;陈大鹏;伍小平 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230026*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 玻璃基底光学读出红外传感器，其特征是采用透可见光而不透红外线的玻璃基底，其上设置具有侧向支撑平面结构的微梁单元，包含热变形机构和红外吸收板；热变形机构为两组，对称设置于红外吸收板两侧，由热隔离梁和热变形梁构成折转式分布；热变形机构以其内侧端连接在红外吸收板两侧、外侧末级梁端通过锚脚站立固定于玻璃基底上；热隔离梁非金属膜；热变形梁是在非金属膜的附着金属膜形成双材料梁；红外吸收板以其反光面为朝着玻璃基底的一面；读出的可见光透过玻璃基底投照在反光面上，红外线直接投照在另一面上。本发明消除框架结构，缓解热变形机构和红外吸收板在同一平面层的尺寸矛盾，可以有效提高红外探测灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 基底 光学 读出 红外传感器 | ||
【主权项】：
1、一种玻璃基底光学读出红外传感器，其特征是采用透可见光而不透红外线的玻璃基底(5)，在所述玻璃基底(5)上设置具有侧向支撑平面结构的微梁单元(12)；所述微梁单元(12)包含热变形机构和红外吸收板(3)；其中，热变形机构为两组，对称设置于红外吸收板(3)的两侧，每组热变形机构由至少一根热隔离梁(1)和至少一根热变形梁(2)构成折转式分布；所述热变形机构以其内侧端连接在红外吸收板(3)的两侧、其外侧末级梁端通过锚脚(4)以站立的形式固定于玻璃基底(5)上；所述热隔离梁(1)为单一材料的非金属膜；所述热变形梁(2)是在非金属膜的上表面或下表面上附着金属膜形成的双材料梁；所述红外吸收板(3)以其附着有金属膜的反光面为朝着玻璃基底(5)的一面；读出的可见光透过玻璃基底(5)投照在反光面上，红外线直接投照在另一面上。
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