[发明专利]霍尔型离子源无效
| 申请号： | 200610098167.1 | 申请日： | 2006-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN101197239A | 公开（公告）日： | 2008-06-11 |
| 发明（设计）人： | 邱凯;李新化;钟飞;尹志军;刘敏;王玉琦 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | H01J27/02 | 分类号： | H01J27/02;H01J27/14;H01J37/08;H01J49/10 |
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| 地址： | 230031*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种霍尔型离子源。它的阴极灯丝(1)经灯丝支架(2)和灯丝绝缘座(3)与屏蔽罩上盖(4)固定连接，柱状体阳极(14)上部的内腔为带有一只以上阳极进气口(13)的阳极放电室(12)、下部为内置软铁(16)和磁铁(15)的阳极水冷腔(18)，阳极水冷腔密封法兰(17)与阳极(14)底端间经密封件(20)、螺钉(21)固定连接，其上对应阳极水冷腔(18)两侧处贯通焊接有冷却水进、出水管(10，9)，屏蔽罩(6)经阳极上绝缘垫(5)、阳极下绝缘垫(7)与凸台(23)、阳极水冷腔密封法兰(17)相抵触连接，阳极下绝缘垫(7)中贯通连接有与阳极进气口(13)相接通的进气管(11)。它可用于离子束辅助沉积、清洗和半导体技术中。 | ||
| 搜索关键词： | 霍尔 离子源 | ||
【主权项】：
1.一种霍尔型离子源，包括阴极灯丝(1)、位于离子源外套中的阳极(14)和密封法兰，以及磁铁(15)，其中，阳极(14)为柱状体，其上部的内腔为带有进气口的阳极放电室(12)、下部置有水冷却室，密封法兰与柱状体阳极(14)的底端间置有密封件(20)，并经螺钉(21)相固定连接，其特征在于：(a)所说离子源外套为屏蔽罩(6)，所说阴极灯丝(1)经灯丝支架(2)和灯丝绝缘座(3)与屏蔽罩上盖(4)固定连接；(b)所说柱状体阳极(14)带有凸台(23)，所说进气口为阳极进气口(13)，所说阳极进气口(13)为一只以上、且贯通所说柱状体的侧壁后位于所说阳极放电室(12)下部的侧面，所说柱状体下部的水冷却室为阳极水冷腔(18)，所说阳极水冷腔(18)中置有软铁(16)和其上的磁铁(15)；(c)所说密封法兰为阳极水冷腔密封法兰(17)，所说阳极水冷腔密封法兰(17)上对应阳极水冷腔(18)的两侧处分别贯通焊接连接有冷却水进水管(10)和冷却水出水管(9)，所说密封件(20)为金属刀口法兰或金属丝密封圈；(d)所说屏蔽罩(6)分别经阳极上绝缘垫(5)、阳极下绝缘垫(7)与阳极(14)的凸台(23)、阳极水冷腔密封法兰(17)相抵触连接，所说阳极下绝缘垫(7)中贯通连接有进气管(11)，所说进气管(11)的伸入屏蔽罩(6)内的一端与所说阳极进气口(13)相接通。
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