[发明专利]检验晶片的装置无效
| 申请号： | 200610098854.3 | 申请日： | 2006-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN1896725A | 公开（公告）日： | 2007-01-17 |
| 发明（设计）人： | 贝克后斯·贺宁;苛立·艾伯特;奎柏·查德尔·克里斯多夫 | 申请（专利权）人： | 比斯泰克半导体系统股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;H01L21/66;G01R31/308;H05B37/02 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 德国韦茨拉尔*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于自动检验晶片的装置和方法，其具有对晶片照明以便进行检验的光源和光学照明器件，其中光学照明器件包括用于调节亮度的可变灰色滤光片。 | ||
| 搜索关键词： | 检验 晶片 装置 | ||
【主权项】：
1.一种自动检验晶片的装置，其特征在于其包括照亮晶片以便进行检验的光源、安装在所述光源前面的光学照明器件以及用于调整所述光源亮度的可变灰色滤光片。
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