[发明专利]用于测量电镀溶液的化学浓度的系统和方法无效
| 申请号： | 200610099531.6 | 申请日： | 2006-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN1904608A | 公开（公告）日： | 2007-01-31 |
| 发明（设计）人： | 亚历山大·F·霍尔曼恩;耶夫吉尼·拉宾诺维赤;凯瑟琳·P·塔 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G01N31/00 | 分类号： | G01N31/00 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 赵飞 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种电化学电镀系统，包括：一个或多个用于储存电镀溶液的电镀池液池和与所述一个或多个电镀池液池流体连通的化学分析器。所述化学分析器配置来测量所述电镀溶液的化学浓度。该电镀系统还包括管道系统，所述管道系统配置来提供所述一个或多个电镀池液池和所述化学分析器之间的所述流体连通，并且将所述化学分析器与由所述一个或多个电镀池液池中的一个或多个电镀池产生的电噪音基本隔离。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 电镀 溶液 化学 浓度 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电化学电镀系统，包括：一个或多个用于储存电镀溶液的电镀池液池；与所述一个或多个电镀池液池流体连通的化学分析器，其中所述化学分析器配置来测量所述电镀溶液的化学浓度；和管道系统，所述管道系统配置来提供所述一个或多个电镀池液池和所述化学分析器之间的所述流体连通，并且将所述化学分析器与由所述一个或多个电镀池液池中的一个或多个电镀池产生的电噪音基本隔离。
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