[发明专利]位置测量装置

摘要

本发明涉及一个用于获得一个扫描单元以及一个在至少一个测量方向上移动的测量体的相对位置的位置测量装置。该扫描单元包括多个光栅结构以及至少一个反射元件。所述元件设置在扫描单元里面，使得由测量体衍射的光束在扫描单元中穿过第一光栅结构，接着显现在反射元件上，由反射元件实现在测量体方向上的一个向后反射然后使分光束穿过第二光栅结构并接着重新显现在测量体上。这样构成第一和第二光栅结构，使得在分光束第一次和第二次通过时对于分光束产生一个确定的透镜折射作用。

主权项

1.用于获得扫描单元以及在至少一个测量方向上移动的测量体的相对位置的位置测量装置，其中该扫描单元包括多个光栅结构以及至少一个反射元件，其特征在于，-所述元件设置在扫描单元(20；120)里面，使得由测量体(10；110)衍射的光束在扫描单元(20；120)方向上传播，在那里这些光束穿过第一光栅结构(24.1，24.2；124.1，124.2)，接着显现在反射元件(26.1，26.2；126.1，126.2)上，由反射元件实现在测量体(10；110)方向上的向后反射并且使分光束穿过第二光栅结构(24.3，24.4；124.3，124.4)并接着重新在测量体(10；110)上显现，并且-其中构造第一和第二光栅结构(24.1，24.2；24.3，24.4；124.1，124.2；124.3，124.4)，使得在分光束分别通过时在分光束上产生确定的透镜折射作用。