[发明专利]稀土金属构件及制造方法无效
| 申请号： | 200610099687.4 | 申请日： | 2006-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN1891863A | 公开（公告）日： | 2007-01-10 |
| 发明（设计）人： | 塚谷敏彦;中野瑞;前田孝雄 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C23F4/00 | 分类号： | C23F4/00;H01L21/02;C22C28/00;C23G1/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 蔡胜有 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 使用具有最低含量的杂质金属元素的稀土金属，将其加工成构件并用基于有机酸的封端剂进行清洗，获得完全由稀土金属组成并且在亚表面区域包含不多于100ppm的杂质金属元素的稀土金属构件，该稀土金属构件的特征在于高表面纯度、大晶粒尺寸、最少的晶界和提高的耐卤素性或耐蚀性。 | ||
| 搜索关键词： | 稀土 金属构件 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种稀土金属构件，基本由稀土金属构成并具有最层表面，所述构件在从最外层表面到2μm深度的区域中包含不多于100ppm的稀土金属以外的至少一种金属元素。
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