[发明专利]透镜定位方法,刻录方法,定位方法以及刻录装置无效
| 申请号： | 200610099850.7 | 申请日： | 2006-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN1877456A | 公开（公告）日： | 2006-12-13 |
| 发明（设计）人： | 桥本学治 | 申请（专利权）人： | 索尼株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G11B7/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 马高平;杨梧 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供了一种透镜定位方法。当在平行于光轴的方向上振动物镜时，物镜或基片上形成有抗蚀剂材料膜的母盘被移动，从而改变物镜和母盘表面之间的距离。光电探测器探测到透射通过物镜并被母盘表面反射的返回激光光束。当该母盘靠近物镜焦点时，光电探测器探测到该返回激光光束。当探测到该返回激光光束时，物镜或母盘的移动停止。 | ||
| 搜索关键词： | 透镜 定位 方法 刻录 以及 装置 | ||
【主权项】：
1.一种透镜定位方法，包括：移动步骤，移动物镜或其基片上形成有抗蚀剂材料膜的母盘并在与光轴平行的方向上振动所述物镜，从而改变所述物镜和所述母盘表面之间的距离；探测步骤，利用光电探测器探测已透射通过所述物镜并被所述母盘表面反射的返回激光光束；以及在所述母盘位于靠近所述物镜焦点的位置处时通过所述光电探测器探测所述返回激光光束、并且在探测到所述返回激光光束时停止所述物镜或所述母盘的移动的步骤。
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