[发明专利]基板输送装置有效
| 申请号： | 200610100609.1 | 申请日： | 2006-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN1868839A | 公开（公告）日： | 2006-11-29 |
| 发明（设计）人： | 和歌月尊彦;西部幸伸 | 申请（专利权）人： | 芝浦机械电子株式会社 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;G02F1/133 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 胡建新 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种输送装置，能够利用端部支承辊和上置辊以相同的力对基板宽度方向上的两端部的上下面进行保持并输送该基板。该输送装置包括：轴线与输送方向相交且以规定间隔设置的多个输送轴(3)；设置在输送轴上支承除了基板宽度方向上的两端部以外的部分的下面的多个输送辊(21)和支承基板宽度方向上的两端部的下面的端部支承辊(22)；轴线平行地分别配置在输送轴的一端部和另一端部的上方且与输送轴两端部对应的一端被可旋转地支承的一对上置辊轴(25)；设置在上置辊轴的另一端部且按压基板宽度方向端部的上面的一对上置辊(27)；设置在上置辊轴上且对上述上置辊按压上述基板上表面的按压力进行调整的配重(29)。 | ||
| 搜索关键词： | 输送 装置 | ||
【主权项】：
1、一种基板输送装置，在规定的方向上输送基板，其特征在于，包括：多个输送轴，轴向的两端部可旋转地被支承，轴线与上述基板输送方向相交，以规定间隔设置；多个输送辊，设置在该输送轴上，支承上述基板的除了宽度方向上的两端部以外的部分的下面；端部支承辊，设置在上述输送轴上，支承上述基板的宽度方向上的两端部的下面；一对上置辊轴，轴线与上述输送轴平行地分别配置在上述输送轴的一端部和另一端部的上方，与上述输送轴的两端部相对应的一端部可旋转地被支承；一对上置辊，设置在各个上置辊轴的另一端部上，分别按压上述基板的宽度方向的端部的上面，该基板在宽度方向上的端部的下面由上述端部支承辊支承；配重，设置在上述上置辊轴上，对上述上置辊按压上述基板的上面的按压力进行调整。
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