[发明专利]热式流量测量装置有效
| 申请号： | 200610100749.9 | 申请日： | 2006-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN1892188A | 公开（公告）日： | 2007-01-10 |
| 发明（设计）人： | 渡边泉;堀江润一;中田圭一 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立制作所 |
| 主分类号： | G01F1/68 | 分类号： | G01F1/68 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 刘建 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 实现一种不会使电路或者传感器的构造复杂化，且可以减轻发热电阻体的污损，减少因老化而导致的测定误差的热式流量测量装置。薄壁部(7)形成于半导体基板(2)上，在该薄壁部(7)配置有发热电阻体(10)、和感温电阻体(13)的一部分。感温电阻体(13)是在电桥电路中位于与发热电阻体(10)对角的位置的电阻，并被配置于接受发热电阻体(10)的热影响的位置。由此可以使发热电阻体(10)的加热温度具有流量依存性，可以使因老化而导致的测定误差减少。 | ||
| 搜索关键词： | 流量 测量 装置 | ||
【主权项】：
1.一种热式流量测量装置，其测量流体的流量，并包括：形成了薄壁部的基板；配置于上述薄壁部上的发热电阻体；以及用于驱动上述发热电阻体以使得上述发热电阻体成为设定加热温度的电桥电路，其特征在于，形成上述电桥电路的各边的电阻元件是感温电阻体，至少一个感温电阻体的一部分或者全部被配置于上述薄壁部上，且被配置于上述发热电阻体的附近，接受来自上述发热电阻体的热影响，随着流体的流量变大，上述设定加热温度变高。
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