[发明专利]高电压静电放电防护装置及其制作方法

摘要

本发明为一种高电压静电放电防护装置及其制作方法，是以跨接于连接内电路的输入端与接地端，并相互并联设置PNP晶体管与二极管等静电放电防护组件形成一静电放电路径，达到高电压静电放电防护的目的。该PNP型晶体管为相邻的重掺杂的P型半导体区(P+)、轻掺杂的N型半导体区(N－)与P型基板(P－sub)结构；该二极管为低掺杂浓度的N型半导体区与低掺杂浓度的P型半导体区相邻的结构。

主权项

1.一种高电压静电放电防护装置，是由一输入端到一接地端提供一静电放电路径，该装置包括：一基板；一PNP型晶体管，形成于该基板，该PNP型晶体管具有一发射极，一基极及一集电极，其中该PNP型晶体管的发射极为一信号输入端，耦接于该装置的输入端，该PNP型晶体管的集电极耦接于该装置的接地端；以及一二极管，形成于该基板，该二极管具有一P型传导端及一N型传导端，其中该二极管的P型传导端耦接该装置的接地端，该二极管的N型传导端耦接该装置的输入端，且该二极管上形成一自我对准金属硅化结构。