[发明专利]化学研磨装置及其玻璃基板

摘要

具有化学研磨槽、多列的中空管(2)、供气泵和吊篮，该化学研磨槽以封闭状态，保有含有氟酸的研磨液；该多列的中空管(2)以规定的间隔，向上设置着直径为0.3mm－2mm左右的气泡开口HO；该供气泵将空气连续地供给到多列的中空管(2)，在化学研磨槽中产生气泡；该吊篮在多列的中空管(2)的上部，隔开规定的扩散空间，以垂直姿势保持多个玻璃基板。在多次反复进行以吊篮为单位实行的化学研磨处理后，沉淀在沉淀空间的反应生成物从排出口被排出。根据本发明，可以提供一种难以引起气孔阻塞，被供给到玻璃基板上的气泡没有位置上的差异，能够实现高品质的化学研磨的化学研磨装置。

主权项

1.一种化学研磨装置，其特征在于，具有多列的中空管、供气部和吊篮，该多列的中空管被配置在保有含有氟酸的研磨液的化学研磨槽中，并且以规定的间距设置着直径为0.3mm-2mm的气泡开口；该供气部将气体连续地供给到上述多列的中空管，在上述化学研磨槽中产生气泡；该吊篮在上述多列的中空管的上部，隔开与上述开口间距对应并较宽地被确保的扩散空间，以垂直姿势保持多个玻璃基板，在多次反复进行以上述吊篮为单位实行的化学研磨处理后，对上述多列中空管进行清洗处理，以不存在闭塞状态的气泡开口为条件，再次使用上述多列的中空管。