[发明专利]表面波声学纳米流体驱动器及其制作方法无效
| 申请号： | 200610102212.6 | 申请日： | 2006-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN1988356A | 公开（公告）日： | 2007-06-27 |
| 发明（设计）人： | 曾屹;阎济泽 | 申请（专利权）人： | 河北理工大学 |
| 主分类号： | H02N2/00 | 分类号： | H02N2/00;F17D1/08 |
| 代理公司： | 唐山永和专利事务所 | 代理人： | 王永红 |
| 地址： | 063000*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种表面波声学纳米流体驱动器器件及其制作方法，属于驱动纳米液滴技术的驱动器领域。由五个部分组成，表面波声学驱动器固定在衬底上，纳米流体通道位于表面波声学驱动器表面波发射方向，加热器位于纳米流体通道下部衬底中。制备步骤是：制备SOI衬底，衬底为三层结构，由表层薄膜硅、中间隔离层二氧化硅和底层体硅基底组成，用绑定工艺将三层连接为一体；用微机械体加工技术在衬底上制备表面波声学驱动器的栅状电极；用微机械体加工技术在衬底上制备加热器的加热电阻；在衬底上配备表面波声学驱动器控制电极和加热电极。本器件体积小、能耗低、易于集成、稳定性高、易于产业化的特点，能够精确控制微流体的温度、流速、流量和流动方向。 | ||
| 搜索关键词： | 表面波 声学 纳米 流体 驱动器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1、一种表面波声学纳米流体驱动器，它由衬底、表面波声学驱动器、控制电极、纳米流体通道、加热器五个部分组成，其特征在于，由控制电极控制的表面波声学驱动器固定在衬底上，纳米流体通道位于表面波声学驱动器表面波发射方向，垂直于表面波声学驱动器栅装电极，加热器由加热电极和加热电阻构成位于纳米流体通道下部衬底中。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于河北理工大学，未经河北理工大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610102212.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
