[发明专利]形成微组件的方法无效
| 申请号： | 200610103195.8 | 申请日： | 2001-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN1897210A | 公开（公告）日： | 2007-01-17 |
| 发明（设计）人： | 爱德华·维克托里·乔治;亚当·托马斯·德罗博特;罗杰·拉弗内·约翰逊;艾伯特·迈伦·格林;纽厄尔·孔韦尔·韦思 | 申请（专利权）人： | 科学应用国际公司 |
| 主分类号： | H01J9/02 | 分类号： | H01J9/02 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王玉双 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种形成微组件的方法，其中该方法是在有等离子体发生气体的条件下进行的，包括步骤：提供材料；把夹杂物移入到材料内；对材料做热处理，使得夹杂物在材料内开始形成气泡；使气泡聚集，以形成多孔外壳；以及冷却该外壳，使得当外壳冷却时，等离子体气体被密封在外壳内。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 组件 方法 | ||
【主权项】：
1.一种形成微组件的方法，其中该方法是在有等离子体发生气体的条件下进行的，包括步骤：提供材料；把夹杂物移入到材料内；对材料做热处理，使得夹杂物在材料内开始形成气泡；使气泡聚集，以形成多孔外壳；以及冷却该外壳，使得当外壳冷却时，等离子体气体被密封在外壳内。
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