[发明专利]微致动器、带有微致动器的磁头万向节组件及其制造方法无效
申请号: | 200610103590.6 | 申请日: | 2006-07-25 |
公开(公告)号: | CN101114463A | 公开(公告)日: | 2008-01-30 |
发明(设计)人: | 姚明高 | 申请(专利权)人: | 新科实业有限公司 |
主分类号: | G11B5/596 | 分类号: | G11B5/596;G11B21/10 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 王艳江;杨生平 |
地址: | 中国香港新界沙田香*** | 国省代码: | 中国香港;81 |
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摘要: | 本发明提供了一种用在磁盘驱动器单元组件的HGA中的微致动器。该微致动器包括金属框架,该金属框架包括一基部和自该基部延伸的两个相对的臂,其中在每个臂的侧表面上分别以如下方式附装有至少两片薄膜PZT:当每个臂与附装于其上的薄膜PZT响应于施加于薄膜PZT的驱动信号而一起产生位移时,每个臂的位移由于叠加效应而得以增加。由于有至少两片薄膜PZT附装在每个臂的侧表面上,因此产生了叠加效应而实现了臂位移的增加。所述至少两片薄膜PZT可位于臂的同一侧表面,或者分别位于外侧和内侧表面上。 | ||
搜索关键词: | 微致动器 带有 磁头 万向节 组件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种微致动器,包括金属框架,该金属框架包括一基部和自该基部延伸的两个相对的臂,其特征在于,在每个臂的侧表面上分别以如下方式附装有至少两片薄膜PZT:当每个臂与附装于其上的薄膜PZT响应于施加到薄膜PZT上的驱动信号而一起发生位移时,每个臂的位移由于叠加效应得以增加。
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