[发明专利]飞秒激光真三维微纳加工中心无效
| 申请号： | 200610104819.8 | 申请日： | 2006-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN1947917A | 公开（公告）日： | 2007-04-18 |
| 发明（设计）人： | 赵万华;薛飞;李涤尘;陈烽 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | B23K26/04 | 分类号： | B23K26/04;B23K26/06;B23K26/08;B23K26/42;G02B27/10 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人： | 陈翠兰 |
| 地址： | 710049*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种飞秒激光真三维微纳加工中心，沿飞秒激光产生放大系统的输出光束方向上设置反射镜，反射镜与输出光束的负向夹角为45°，沿反射后的光轴方向在反射镜下方设置多轴联动微动工作台，在反射镜和多轴联动微动工作台中间的光轴方向上设置聚焦透镜，并在反射镜上方设置CCD传感器，飞秒激光产生放大系统、多轴联动微动工作台、CCD传感器和LCD监视器连接在工控机上。该加工中心能够加工高熔点、高硬度和高脆性等特种功能材料的微纳尺度真三维结构件。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 三维 加工 中心 | ||
【主权项】：
1、飞秒激光真三维微纳加工中心，包括飞秒激光产生放大系统(2)、反射镜(5)、聚焦透镜(6)、多轴联动微动工作台(7)、CCD传感器(4)、LCD监视器(3)和工控机(1)；其特征在于，沿飞秒激光产生放大系统(2)的输出光束方向上设置反射镜(5)，反射镜(5)与输出光束的负向夹角为45°，沿反射后的光轴方向在反射镜(5)下方设置多轴联动微动工作台(7)，在反射镜(5)和多轴联动微动工作台(7)中间的光轴方向上设置聚焦透镜(6)，并在反射镜(5)上方设置CCD传感器(4)，飞秒激光产生放大系统(2)、多轴联动微动工作台(7)、CCD传感器(4)和LCD监视器(3)连接在工控机(1)上。
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